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自發凝固成型制備大尺寸高純氧化鋁產品

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瀏覽:- 發布日期:2020-07-09 15:07:47【

        最近,中國科學院上海硅酸鹽研究所王士維研究員帶領的科研團隊與企業合作,基于具有自主知識產權的異丁烯和馬來酸酐的共聚物(PIBM)多官能團共聚物自發凝固成型體系(spontaneous gelation),突破大尺寸陶瓷濕坯在干燥過程中的變形和開裂等關鍵瓶頸問題,成功制備出直徑360mm至600mm的大尺寸高純氧化鋁陶瓷研磨盤。
       大尺寸結構陶瓷部件在半導體制造裝備等領域有著廣泛的應用,但大尺寸陶瓷部件的成型極具挑戰性。PIBM自發凝固成型技術與經典的冷等靜壓成型和注漿成型相比,注凝成型(gelcasting,或稱凝膠注模)具有突出的優勢:素坯微結構均勻,從根本上保證陶瓷部件的可靠性;素坯強度和密度高,方便搬運,能夠有效減小燒結收縮和開裂的風險;近凈尺寸成型,可以大幅度減少機械加工成本。此外,注凝成型工藝裝備簡單,可以有效降低生產投入成本,在制備大尺寸陶瓷部件方面具有巨大的應用潛力。然而,基于自由基聚合反應的凝膠體系存在單體有毒、氧阻聚和添加劑種類多且添加量大等問題;另外,陶瓷凝膠的干燥機理也未闡釋清楚,嚴重阻礙了注凝技術在大尺寸結構陶瓷部件制備和產業化方面的廣泛應用。
        王士維研究團隊自2003年起就開始新型凝膠固化體系的探索研究。首先發展了基于親核加成聚合反應的水溶性環氧樹脂-多胺凝膠體系(J. Am. Ceram. Soc.,2008),先后成功應用于致密Al2O3、AlN和SiC,半透明Al2O3、透明Y2O3、YAG和AlON以及泡沫Al2O3等先進陶瓷的成型。2011年,該團隊在采用PIBM制備Al2O3陶瓷漿料的研究中,發現了自發凝固現象(J. Mater. Res.,2013)。隨后,重點開展了PIBM自發凝固體系的普適性、陶瓷凝膠的干燥機理、預燒過程坯體內應力以及大尺寸陶瓷部件制備技術開發等工作。
        相比于其它凝膠體系,PIBM自發凝固體系具有添加劑種類少、添加量少以及操作簡便等顯著優勢。在常溫大氣環境下,僅采用一種有機共聚物,就可以實現Al2O3的自發凝固成型,所制備的Al2O3陶瓷濕坯具有良好的柔韌性。同時,該凝固體系具有廣泛的普適性,已成功應用于多種氧化物和非氧化物體系的多孔、致密和透明陶瓷的制備。通過比較環氧樹脂-多胺凝膠體系和PIBM自發凝固體系的干燥過程,該團隊發現有機網絡的疏密程度顯著地影響著陶瓷濕坯的干燥行為。PIBM自發凝固體系形成的有機網絡有利于水分輸運,干燥應力更容易釋放,坯體干燥后不變形;而環氧樹脂-多胺凝膠體系形成的有機網絡阻礙水分輸運,干燥應力大,坯體易干燥變形。
       PIBM自發凝固成型技術可制備直徑360mm-600mm多種規格的高純氧化鋁研磨盤,為規?;a大尺寸氧化鋁產品奠定了堅實基礎。
         PIBM自發凝固成型技術應用于大尺寸先進陶瓷材料的制備,具有顯著的原創性和先進性,將為我國半導體制造裝備國產化所需的大尺寸陶瓷部件提供一條新的低成本制造方法。該研究獲得中科院平湖新材料中心項目、上海市優秀技術帶頭人項目、國家自然科學基金面上項目和科技部重點研發計劃支持。


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